臭氧发生器系统具体由气源系统、臭氧发生器主机、冷却水系统、高频电源系统、自动控制系统、在线仪表、投加系统、尾气破坏器系统等部分组成。
1. 气源系统：为臭氧发生器提供制备臭氧所需的原料气。气源系统分为空气源、液氧源/现场制氧两大类
2. 高频电源系统：高频电源系统将AC380V/50Hz的市电，先是IGBT逆变后再经过变压器升压，转换为臭氧发生器使用的4k-6kHz的高频高压电源，输送给臭氧发生器，为发生器提供制备臭氧所需的高频高压电源。
3. 臭氧发生器主机：送至臭氧发生器器的气体，通过高频高压介质阻挡放放电，生成臭氧。
4. 冷却水系统：臭氧发生器工作过程中产生大量的热量，冷却水系统把此热量带走，保障臭氧发生器工作在一个合适的温度范围内。
5. 自动控制系统：以PLC（可编程控制器）为控制核心，结合发生器上集成的各类传感器、执行器，根据预先编制的控制程序，对发生器的运行进行实时监控，实现臭氧发生器全自动无人值守运行。可根据用户的产量设定，自动调节臭氧发生器的进气出气量、功率实现臭氧产量的自动调节。
6. 投加系统：将臭氧发生器产生的臭氧，根据实际使用需求，进行分配投加至水中或烟气通道中，让臭氧与需要处理的物质进行有效的化学反应。
7. 尾气破坏系统：在水处理应用中，臭氧不能完全被水吸收反应，有少量的臭氧溢出水面。尾气破坏器系统，将溢出的臭氧进行收集并将臭氧分解为氧气排放至大气中。
要求气源中氧气浓度达到90%以上。氧气源气体为99.6%以上氧气，氧气属于乙类气体，用于石化企业需做好防护设计，但是氧气气源稳定，无易损设备，能有力保障系统持续稳定运行；富氧源为现场通过制氧机排除空气中的氮气而得到气体，气源气体为90-93%氧气，运行成本相对较低，同样需注意做好防护设计。此外，制氧设备成本较高、占地面积大、噪声大且制氧设备属于易损设备，故障率偏高，容易影响全系统持续稳定运行。
臭氧应用领域
1. 引用水：自来水的深度处理、提高絮凝作用、脱色/除臭、去除铁/锰、杀菌消毒、去除TOC(如THM三卤甲烷)、去除激素类成分
2. 污水：去除COD、脱色、去除洗涤成分、去除酚类、去除氰化物、去除AOX（总有机卤素）、去除激素性物质
3. 烟气处理：锅炉烟气废气脱销、热电厂烟气脱销、钢铁厂烟气脱销
4. 除味：氧化H2S、氧化硫醇等
5. 漂白：高岭土漂泊、纸浆漂白
6. 臭氧分解物/合成物：合成新的产品、产品的诱变
7. 空间消毒：冷库消毒、养殖场消毒
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